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AVI主動(dòng)隔振平臺(tái)


AVI主動(dòng)隔振平臺(tái)有助于最大限度地提高全世界數(shù)百臺(tái)電子顯微鏡和其他高載荷精密研究?jī)x器的空間分辨率。諸如卡爾蔡司顯微鏡公司，FEI公司，DCG系統(tǒng)等設(shè)備制造商選擇AVI為其客戶提供最佳解決方案，以在噪聲最大的環(huán)境中實(shí)現(xiàn)最高數(shù)據(jù)質(zhì)量。

AVI的模塊化和易于安裝的設(shè)計(jì)，可以在亞赫茲隔振性能方面為客戶提供最大的可用性和成本效益。



AVI系列產(chǎn)品是一款模塊化，薄型化的主動(dòng)隔振平臺(tái)，可在六個(gè)自由度范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)亞赫茲振動(dòng)隔離。安裝過(guò)程簡(jiǎn)便，可節(jié)省實(shí)驗(yàn)場(chǎng)所和安裝成本。產(chǎn)品分三個(gè)型號(hào)：AVI-200、AVI-400和AVI-600：

AVI-200有三種標(biāo)準(zhǔn)尺寸可供選擇：AVI-200S，AVI-200M和AVI-200XL；

AVI-400有三種標(biāo)準(zhǔn)尺寸可供選擇：AVI-400S，AVI-400M和AVI-400XL；

AVI-600有三種標(biāo)準(zhǔn)尺寸可供選擇：AVI-600S，AVI-600M和AVI-600XL。

 

技術(shù)參數(shù)

AVI系列主動(dòng)減震產(chǎn)品：

（1）主動(dòng)隔振范圍：0.5 Hz-200 Hz；

（2）2.5 Hz時(shí)95%隔振；

（3）5 Hz時(shí)99%隔振；

（4）10 Hz時(shí)99.5%隔振；

（5）最大隔振效果在20 Hz時(shí)99.8%。

 

主要特點(diǎn)

（1）隔離所有振動(dòng)：隔離所有六種旋轉(zhuǎn)和平移振動(dòng)模式下的振動(dòng)；

（2）業(yè)界領(lǐng)先的低頻隔離：主動(dòng)隔離1至200Hz（LFS系統(tǒng)為0.5 - 200 Hz）；超過(guò)200 Hz的無(wú)源隔離；

（3）主動(dòng)式>被動(dòng)式：沒(méi)有低頻共振意味著0-5Hz之間的性能比無(wú)源系統(tǒng)好得多；

（4）最大剛度和穩(wěn)定性：比被動(dòng)系統(tǒng)硬500倍，可提供出色的方向和位置穩(wěn)定性；

（5）可擴(kuò)展至任何儀器尺寸：模塊式樣允許系統(tǒng)適應(yīng)特定的尺寸和負(fù)載，使其成為各種應(yīng)用的理想選擇；

（6）無(wú)縫安裝和使用：小巧的設(shè)計(jì)使得AVI系列無(wú)需升降設(shè)備即可安裝。

 

應(yīng)用領(lǐng)域

使用AVI-200平臺(tái)的常見(jiàn)應(yīng)用包括：

（1）原子力顯微鏡；

（2）干涉儀；

（3）輪廓儀；

（4）摩擦學(xué)；

（5）高精度計(jì)量領(lǐng)域。

 

使用AVI-400/600平臺(tái)的常見(jiàn)應(yīng)用包括：

（1）SEM和TEM；

（2）超高真空掃描探針顯微鏡（UHV-SPM）；

（3）光刻工具；

（4）高精度測(cè)量工具；

（5）光譜儀器。